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IPH半導體嚴苛系列

用途: Etch 、Implant、HDP-CVD、SACVD、MOCVD、LPCVD、ALD

特點:

  1. iPH系列螺杆真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優良的性能,適用于嚴苛制程

  2. 它優良的性能源自於最短的轉子排氣路徑和優越的轉子型線設計

  3. 漢鐘獨特型線設計,上海、臺灣製造

  4. 較之前的版本節能25%,配置有省電模式

  5. 帶有加熱系統避免制程物沉積

  6. 優化的尺寸,隨插即用


規格型號

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產品樣本和技術手冊

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